Da ist beim hochfahren per FTP oder bereits beim runterladen eine oder die Datei beschädigt worden.
Modul deinstallieren und per FTP auch komplett löschen - in der Datenbank am besten sicherheitshalber nachschauen, dass da auch wirklich nix angelegt wurde.
Danach Modul komplett neu runterladen, entpacken, hochfahren und im Backend nochmals installieren.
Wenn das nicht geht, dann kann evtl. eine andere Datei schadhaft sein.
Erst wenn das alles nicht der Fall ist, wäre es was anderes - aber in der Regel ist es nur eine schadhafte Datei - bei hoch oder runterladen etc - hatte ich auch schon.